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切割碳化硅单晶硅片出现出刀倒角小崩边 可能是什么原因 怎么解决
发布时间:2014-08-18 点击次数:4376次
用金刚石线切割机或者砂浆切割机在切割碳化硅、单晶硅片的时候,在结束的时候会出现倒三角小崩边情况,可能是什么原因呢?
我公司经过金刚石线切割机摇摆方式的多次切割试验,发现切割晶体脆硬材料的时候,出刀的一端经常会出现一点倒角或者崩边的情况,显得切割结果不是那么。出现这种情况的原因可能是因为材料本身的一个重量,切割到结尾的时候,那个小点连接支持不住材料的重量,材料本身的重量往下掉落引起断裂,从而出现一个小三角形。也就是说,到后出现的那个倒三角不是被切下来的,而是硬生生被它自己折断的。
卧式和立式金刚石线切割机切割的碳化硅比较
这种情况其实是可以通过一些工艺上的改变来解决的。
一、增加粘合物
如果在切割的时候,在出刀的那一边的表面用一些特殊的胶水或者石蜡等粘一些跟加工材料密度相差不是很大的材料,在切割的时候,连粘合的材料一起切割,就不会使被加工材料出现那种倒三角。
二、切割工艺改变
选用立式结构机床切割的时候,切割到后采用直切方式,并且放慢切割速度。并做好落料准备。
三、选择卧式结构机床
避免落料引起的断裂,可选择卧式结构的机床。在加工件底下垫上10mm厚木板或者玻璃,切到底连玻璃或木板一起切断,就能避免出现倒三角或者崩边的情况了。