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太阳能硅片用电火花线切割与金刚石线切割机效果、效率比较
发布时间:2014-08-23 点击次数:6018次
前面我们介绍过电火花线切割与金刚石线切割机的比较了,有兴趣的朋友可点击查看《电火花线切割机与金刚石线切割机哪个好》,这里又再写这么一篇帖子,单纯的是想把两种不同方法切割的结果做个解说。
以我公司的立式数控金刚石线切割机切割的多晶硅为例。
被切割材料:太阳能多晶硅晶体。
规格尺寸为:145mm×126mm。
加工条件:线切割切削液
切割设备:CHSX5630-XL金刚石线切割机
加工详情:一共切了三片,片加工速度慢,第二片速度加快,第三片速度快。记录下切割的时间和检测被加工多晶硅表面的平面度精度情况。
编号为1的多晶硅片,为切割的片,切割时间慢,耗时1个小时。效率达到18270mm²/小时。看不出线痕,摸起来很光滑,类似磨床磨出来的效果。
编号为2的多晶硅片,为切割的第二片,切割时间耗时45分钟。测量结果:薄处为3.44mm,厚处为3.47mm,表面平整度.03mm。表面效果看起来跟电火花线切割机床切割的多晶硅表面差不多,肉眼能看到线痕,但比电火花线切割的粗糙度更好一些。
编号为3的多晶硅片是第三片,切割时间为30分钟。可以明显看出金刚石线痕。检测结果薄处厚度为4.90mm,厚处为4.95mm,表面平整度.05mm。
图为电火花线切割机床切割的单晶硅
试验结果:电火花线切割机床切割多晶硅的加工效率为5000mm²/小时,用金刚石线切割机床切割多晶硅的效率快可达30000mm²/小时。