单晶硅生产工艺流程之一 单线金刚石线切割机切割成片

    这里是使用单线往复走丝结构金刚石线切割机床的切割试验，切割设备为泰州晨虹数控卧式结构金刚石线切割机，型号：CHSX5650-XW，行程：500×500mm，切割大高度为550mm。

    可定做我公司的多线金刚石线切割机床。

卧式金刚石线切割机切割单晶硅示意图

尺寸：大概直径100mm

箭头符号表示金刚石线开始切割时进刀处

数字表示切割的第几刀顺序

h表示小时

min表示分钟

切割时使用不加水和加水，未加水时使用的是气吹开切屑

切割结果看表面情况如下

金刚石线切割机切割单晶硅片的效果

金刚石线切割机切割单晶硅片，切削液为水，耗时1小时的效果

金刚石线切割机切割单晶硅片，切削液为水，用时1小时的效果

金刚石线切割机切割单晶硅片，切削液为水，耗时80分钟的效果

金刚石线切割机切割单晶硅用气和用水比较，上面是未用切削液，直接用气吹，下面用水做切削液，总共耗时1小时